本实用新型公开了一种超高精密机床结构，包括X轴组件、Z轴组件和大理石床身，大理石床身上设有相互垂直的第一H型梁和第二H型梁，X轴组件和Z轴组件分别安装在第一H型梁和第二H型梁上；X轴组件包括两个X轴超精密导轨、X轴滑板、X轴直线电机磁板和X轴直线电机线圈，X轴滑板通过其上两侧的凹槽分别嵌设到两个X轴超精密导轨上并可沿X轴超精密导轨自由滑动；Z轴滑板通过其上两侧的凹槽分别嵌设到两个Z轴超精密导轨上并可沿Z轴超精密导轨自由滑动，主轴安装在Z轴滑板上。本实用新型设计一种加工精度可达到0.0005mm，适用于小零件高精度加工的机床结构。

1.一种超高精密机床结构，其特征在于：包括X轴组件、Z轴组件和大理石床身，所述大理石床身上设有相互垂直的第一H型梁和第二H型梁，X轴组件和Z轴组件分别安装在第一H型梁和第二H型梁上；所述X轴组件包括两个X轴超精密导轨、X轴滑板、X轴直线电机磁板和X轴直线电机线圈，两个X轴超精密导轨相互平行的安装在第一H型梁上，X轴滑板通过其上两侧的凹槽分别嵌设到两个X轴超精密导轨上并可沿X轴超精密导轨自由滑动，X轴直线电机磁板和X轴直线电机线圈依次安装在大理石床身上且位于第一H型梁之间；所述Z轴组件包括两个Z轴超精密导轨、Z轴滑板、Z轴直线电机磁板、Z轴直线电机线圈和主轴，两个Z轴超精密导轨相互平行的安装在第二H型梁上，Z轴滑板通过其上两侧的凹槽分别嵌设到两个Z轴超精密导轨上并可沿Z轴超精密导轨自由滑动，Z轴直线电机磁板和Z轴直线电机线圈依次安装在大理石床身上且位于第二H型梁之间，主轴安装在Z轴滑板上。

2.根据权利要求1所述的一种超高精密机床结构，其特征在于：还包括分别安装在X轴组件和Z轴组件上的两个光栅尺组件；所述光栅尺组件包括光栅尺和连接板，两个光栅尺分别设置在第一H型梁和第二H型梁的一侧并通过两个连接板将其分别与X轴滑板和Z轴滑板连接。

3.根据权利要求2所述的一种超高精密机床结构，其特征在于：所述光栅尺包括尺身和读数头，读数头位于尺身下方；两个尺身分别固定连接在第一H型梁和第二H型梁上，两个读数头分别与两个连接板的一端连接，两个连接板的另一端分别与X轴滑板和Z轴滑板固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种超高精密机床结构，其特征在于：所述大理石床身、第一H型梁和第二H型梁的采用的材料均为天然大理石。

5.根据权利要求1所述的一种超高精密机床结构，其特征在于：所述第二H型梁位于第一H型梁的中垂线上。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种超高精密机床结构，其特征在于：所述X轴超精密导轨、第一H型梁和大理石床身为一体成型，Z轴超精密导轨、第二H型梁和大理石床身为一体成型。