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  • 一种单晶金刚石及制备方法
一种单晶金刚石及制备方法 授权有效中;
  • 专利(申请)号: CN202210011087.7
  • 专利类型: 发明;
  • 主分类: C化学、冶金;
  • 产业领域: 半导体材料制备
  • 专利来源: 高校;
  • 申请日: 2022-01-05
  • 原始申请人: 西安电子科技大学; 西安电子科技大学芜湖研究院;
  • 当前专利权人: 西安电子科技大学; 西安电子科技大学芜湖研究院;
  • 交易方式: 转让;
  • 其他交易方式:
  • 参考价格(元): ¥35000
  • 联系方式: 远诺孙璐-18250721732

摘要
【 中文摘要 】

本发明涉及一种单晶金刚石及制备方法,其制备方法包括步骤:S1、在衬底上制备金刚石成核层;S2、在金刚石成核层上外延生长晶面取向均一、且表面凹凸不平的多晶金刚石层;S3、在多晶金刚石层的凹凸不平的表面上外延生长金属铱;S4、对金属铱进行表面抛光处理,以露出多晶金刚石层与金属铱交错分布的平面,形成复合衬底;S5、在复合衬底上生长单晶金刚石。该制备方法在晶面取向均一的多晶金刚石表面即可形核,避免传统单晶金刚石异质外延过程中形核阶段对衬底直流偏压的需要,且所形成的单晶金刚石晶体取向均一,质量较高,从而实现了与现有设备的兼容,降低了工艺复杂度,提高了成品率。

 【 英文摘要 】

The invention relates to a single crystal diamond and a preparation method thereof. The preparation method comprises the following steps of : S1, preparing a diamond nucleation layer on a substrate; S2, epitaxially growing a polycrystalline diamond layer with uniform crystal face orientation and uneven surface on the diamond nucleation layer; S3, epitaxially growing metallic iridium on the uneven surface of the polycrystalline diamond layer; S4, performing surface polishing treatment on the metal Iridium to expose the planes where the polycrystalline diamond layer and the metal Iridium are distributed in a staggered manner to form a composite substrate; S5, growing single crystal diamond on the composite substrate. The preparation process can form nucleus on the surface of polycrystalline diamond with homogeneous crystal plane orientation. The requirement of direct current bias voltage on the substrate in the nucleation stage in the traditional monocrystal diamond heteroepitaxy process is avoided, and the formed monocrystal diamond is uniform in crystal orientation and high in quality, so that the monocrystal diamond is compatible with the existing equipment, the process complexity is reduced, and the yield is improved.

 技术摘要(来自于incoPat
 【 用途 】
方法过程制备方法制备
能源矿物宝石单晶金刚石
 【 技术功效 】
技术功效句
避免传统单晶金刚石异质外延过程中形核阶段对衬底直流偏压的需要; 降低了工艺复杂度; 提高了成品率; 从而实现了与现有设备的兼容; 质量较高
技术功效短语
避免直流偏压需要; 降低工艺复杂度; 提高成品率; 实现设备兼容; 质量高
技术功效1级
偏压; 复杂性; 成品率; 兼容; 质量
技术功效2级
偏压避免; 复杂性降低; 成品率提高; 兼容; 质量提高
技术功效3级
直流需要偏压避免; 工艺复杂性降低; 成品率提高; 实现设备兼容; 质量提高
技术功效TRIZ参数
36-系统的复杂性;29-制造精度;27-可靠性;
 分类号
 【技术分类】
主分类号
  • C
    化学;冶金
    • C30B
      单晶生长(使用超高压,例如用于形成金刚石,入B01J3/06);共晶材料的单向凝固或共析材料的单向分层;通过材料的区域熔化进行精炼(金属或合金的区域精炼C22B);具有确定结构的均匀多晶材料的生产(用相同的方法或装置铸造金属、铸造其他物质入B22D;塑料加工入B29;改变金属或合金C21D、C22F)的物理结构;具有确定结构的单晶或均匀多晶材料;具有确定结构的单晶或均质多晶材料的后处理(用于生产半导体器件或其部件入H01L,H10);所用设备 [19800101]
    • *C30B29/02
      元素 [20060101]
    • **C30B29/04
      钻石 [20060101]
    • C30B29/00
      具有以材料或其形状为特征的确定结构的单晶或均质多晶材料 [20060101]
    • C30
      晶体生长 [19800101]
IPC分类号
CPC分类号
 【行业分类】
国民经济行业分类
制造业
国民经济行业(主)
制造业
新兴产业分类
先进无机非金属材料
新兴产业(主)
先进无机非金属材料
学科分类
工程 物理科学
数字经济核心产业分类
数字产品制造业
 专利历程
  • 2022-01-05
    申请日
    CN202210011087.7(当前专利)
    申请号
  • 2022-05-24
    首次公开日
    CN114525582A
    首次公开号
  • 2023-08-04
    授权公告日
    CN114525582B(当前专利)
    授权公告号
  • 2042-01-05
    预估到期日
    计算因素 
 其他著录项
代理机构西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230
代理人王海栋
申请语言汉语
审查员吴平
 权利要求

1.一种单晶金刚石的制备方法,其特征在于,包括步骤:
S1、在衬底上制备金刚石成核层;
S2、在所述金刚石成核层上外延生长晶面取向均一、且表面凹凸不平的多晶金刚石层;
所述多晶金刚石层的晶面包括(100)面、(111)面或(110)面,厚度为0.05~1mm;
S3、在所述多晶金刚石层的凹凸不平的表面上外延生长0.1~3μm的金属铱,使得金属铱与多晶金刚石之间形成交错分布的接触界面;
S4、对所述金属铱进行表面抛光处理,以露出晶面取向均一的金刚石晶粒,得到所述多晶金刚石层与所述金属铱交错分布的平面,形成复合衬底;
S5、在所述复合衬底上异质外延单晶金刚石。

2.根据权利要求1所述的单晶金刚石的制备方法,其特征在于,步骤S1包括:
在所述衬底上旋涂纳米晶金刚石,旋涂转速为300~1000r/min,所述纳米晶金刚石的晶粒尺寸为10~100nm,形成所述金刚石成核层。

3.根据权利要求1所述的单晶金刚石的制备方法,其特征在于,所述衬底包括硅、蓝宝石、碳化硅中的一种或多种。

4.根据权利要求3所述的单晶金刚石的制备方法,其特征在于,当所述衬底采用硅时,硅衬底的直径为5~100mm,厚度为1~3mm。

5.根据权利要求1所述的单晶金刚石的制备方法,其特征在于,步骤S2包括:
在CH4流量为15~30sccm,H2流量为300~600sccm,N2流量为0.3~0.6sccm,压强为70~120Torr,功率为4000~6000W,生长温度为850~1100℃的条件下,在所述金刚石成核层上外延生长所述多晶金刚石层。

6.根据权利要求1所述的单晶金刚石的制备方法,其特征在于,步骤S3包括:
在所述多晶金刚石层的表面利用磁控溅射的方法以0.5~2nm/s的速率沉积一层金属铱。

7.根据权利要求1所述的单晶金刚石的制备方法,其特征在于,步骤S5包括:
利用化学气相沉积法,以CH4流量为15~30sccm,H2流量为300~600sccm,N2流量为0~0.6sccm,压强为110~150Torr,功率为5000~6000W,生长温度为950~1200℃的条件,在所述复合衬底表面生长所述单晶金刚石。

8.根据权利要求1所述的单晶金刚石的制备方法,其特征在于,所述单晶金刚石的厚度为0.1~1mm。

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