一种芯片UVO清洗及端面检验夹具-挂牌专利-西安知识产权运营服务平台

一种芯片UVO清洗及端面检验夹具 授权有效中;

专利(申请)号： CN202320608534.7
专利类型：实用新型;
主分类： H电学;
产业领域：芯片检验设备技术
专利来源：企业;
申请日： 2023-03-25
原始申请人：西安奇芯光电科技有限公司
当前专利权人：西安奇芯光电科技有限公司
交易方式：许可;
其他交易方式：
参考价格（元）：￥面议
联系方式：宋晓琳18192339063

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专利详情

本实用新型涉及一种芯片UVO清洗及端面检验夹具，包括芯片安装座、顶出部件、定位推动部件、压紧部件。芯片安装座具有至少一个芯片安装孔，芯片安装孔的一侧具有第一夹持部件；顶出部件具有至少一个芯片放置台，芯片能够随着芯片放置台的移动进入芯片安装孔，并移动至第一夹持部件的一侧；定位推动部件可移动的设置于芯片安装座的一端；压紧部件具有至少一个第二夹持部件，第二夹持部件设置于芯片安装孔的另一侧；第二夹持部件能够随着定位推动部件的移动与芯片相接，并与第一夹持部件一起夹紧芯片。通过各部件的配合使用，使该UVO清洗及端面检验夹具能够实现代替两套工艺夹具和降低芯片二次污染的功能，且能够实现低成本、可靠性高的应用。

【英文摘要】

This utility model involves a kind of chip UVO and washes and the end examines the clamp, including chip mount pad, push-out the part, position and promote the part, jam the part. The chip mounting seat has at least one chip mounting hole, and a first holding member is provided at one side of the chip mounting hole; The ejection part has at least one chip placing table, and the chip can enter the chip mounting hole along with the movement of the chip placing table and move to one side of the first clamping part; The positioning and pushing part is movably arranged at one end of the chip mounting seat; The pressing member has at least one second holding member disposed at the other side of the chip mounting hole; The second holding part can be connected with the chip along with the movement of the positioning pushing part, and can clamp the chip together with the first holding part. Through the matched use of the components, the UVO cleaning and end face inspection fixture can realize the functions of replacing two sets of process fixtures and reducing the secondary pollution of a chip, and can realize the application with low cost and high reliability.

技术摘要（来自于incoPat

【技术功效】

技术功效句	成本低; 且该夹具能够实现低成本、可靠性高的应用; 同时避免了夹持对芯片表面造成划痕的风险; 该夹具结构设计合理; 保证该UVO清洗及端面检验夹具使用操作简单; 且芯片两侧对脏污容忍程度较高; 因此可以避免芯片清洗完后的二次污染问题; 通用性强; 该结构还具有增加清洗面积的功能; 稳定性高; 且成本低; 进一步增加了芯片清洗面积; 该结构还具有避免二次污染的性能; 效率高
技术功效短语	成本低; 低成本; 避免风险; 结构设计合理; 保证该清洗; 芯片两侧高; 避免污染问题; 通用性强; 可靠性高; 增加清洗面积功能; 稳定性高; 保证检验夹具; 保证端面; 使用简单; 增加清洗面积; 避免二次污染; 效率高; 实现低成本
技术功效1级	成本; 风险; 合理性; 清洁性; 芯片; 污染; 适用性; 可靠性; 面积; 稳定性; 夹具; 端面; 复杂性; 效率
技术功效2级	成本降低; 风险避免; 合理性提高; 清洁性保持; 芯片提高; 污染避免; 适用性提高; 可靠性提高; 面积提高; 稳定性提高; 夹具保持; 端面保持; 复杂性降低; 效率提高
技术功效3级	成本降低; 风险避免; 结构设计合理性提高; 清洁性保持; 两侧芯片提高; 问题污染避免; 适用性提高; 可靠性提高; 清洗功能面积提高; 稳定性提高; 检验夹具保持; 端面保持; 使用复杂性降低; 清洗面积提高; 二次污染避免; 效率提高; 实现成本降低
技术功效TRIZ参数	39-生产率;27-可靠性;35-适应性、通用性;31-物质产生的有害因素;05-面积;13-稳定性;36-系统的复杂性;

分类号

【技术分类】

主分类号	H01L21/687; H 电 H01L 不包含在第10类中的半导体器件(用于测量的半导体器件的用途入G01;一般电阻器入H01C;磁铁、电感器或变压器SH01F;一般电容器入H01G;电解装置入H01G9/00;电池或蓄电池H01M;波导、谐振器或波导型线入H01P;线路连接器或集电器H01R;受激发射装置H01S;机电谐振器SH03H;扬声器、麦克风、留声机拾音器或类似的声机电换能器SH04R;一般电光源入H05B;电气设备的印刷电路，混合电路，外壳或结构零件，电气部件组件的制造入H05K;半导体器件在具有特定应用的电路中的使用，参见本申请的小类) [19740701] H01L21/67 在半导体或电固态器件的制造或处理期间专门适用于处理半导体或电固态器件的设备;在半导体或电固态器件或元件的制造或处理期间专门适用于处理晶片的设备 [20060101] H01L21/687 使用机械装置，例如卡盘、夹钳或夹钳 [20060101] H01L21/683 用于支承或夹持(用于定位、定向或对准01L21/68) [20060101] H01L21/00 专门适用于半导体或固态器件或其部件的制造或处理的工艺或设备 [20060101] H01 电气元件
IPC分类号	H01L21/687; H01L21/67; H01L21/66;
CPC分类号	Y02P70/50;

【行业分类】

国民经济行业分类	制造业 C3976; C3979; C3972; C3951; C3973; C4028; C3974; C3975; C3569; C3824; C3825; C3562; C3563; C3421; C3073;
国民经济行业(主)	制造业 C3976; C3979; C3972; C3951; C3973; C4028; C3974; C3975; C3569; C3824; C3825; C3562; C3563; C3421; C3073;
新兴产业分类	电子核心产业 1.2;
新兴产业(主)	电子核心产业 1.2;
知识密集型分类	信息通信技术制造业新装备制造业新材料制造业 104; 106; 301; 305; 306; 402; 403;
学科分类	工程 A030201; A120101;
清洁能源产业分类	风能产业太阳能产业水力发电产业智能电网产业 2.1.2; 3.1.0; 3.2.0; 5.1.0; 6.2.0;
数字经济核心产业分类	数字产品制造业数字技术应用业数字要素驱动业 010306; 010501; 010502; 010508; 010509; 010510; 010513; 010516; 010517; 030401; 040703;

其他著录项

代理机构	西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223
代理人	庄华红
申请语言	汉语

权利要求

1.一种芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，包括：
芯片安装座(1)，所述芯片安装座(1)上具有至少一个芯片安装孔(11)，芯片安装孔(11)的一侧具有第一夹持部件(12)；
顶出部件(2)，所述顶出部件(2)上具有至少一个芯片放置台(21)，芯片(7)能够随着芯片放置台(21)的移动进入芯片安装孔(11)，并移动至所述第一夹持部件(12)的一侧；
定位推动部件(3)，所述定位推动部件(3)可移动的设置于所述芯片安装座(1)的一端；
压紧部件(4)，所述压紧部件(4)上具有至少一个第二夹持部件(41)，所述第二夹持部件(41)设置于芯片安装孔(11)的另一侧；所述第二夹持部件(41)能够随着所述定位推动部件(3)的移动与芯片(7)相接，并与所述第一夹持部件(12)一起夹紧芯片(7)。

2.根据权利要求1所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，所述芯片安装座(1)的另一端上设置有第一弹性连接件(6)，所述压紧部件(4)的一端与所述第一弹性连接件(6)相接或可拆卸连接，所述压紧部件(4)的另一端与所述定位推动部件(3)相接或可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，所述芯片安装座(1)的顶部两端均固定有凸台(13)，每个所述凸台(13)的相对一侧均设置有安装槽体(14)，所述压紧部件(4)的两端均设置在与其对应的安装槽体(14)内。

4.根据权利要求3所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，其中一个所述安装槽体(14)的内壁上相对设置有定位凸起(15)，所述压紧部件(4)的一端与两个所述定位凸起(15)相接；所述定位推动部件(3)的一端穿设于具有所述定位凸起(15)的所述凸台(13)上。

5.根据权利要求1所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，还包括安装底板(5)，所述芯片安装座(1)与所述安装底板(5)之间围合形成一容置通槽，所述顶出部件(2)可移动的设置于所述容置通槽内。

6.根据权利要求5所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，所述安装底板(5)的两端均固定有至少一个定位柱体(51)，所述顶出部件(2)的两端均设置有至少一个定位孔(22)，每个所述定位柱体(51)均穿设于与其对应的定位孔(22)内；
所述顶出部件(2)的两侧均设置有至少一个调节螺柱(23)，每个所述调节螺柱(23)的一端均穿过所述顶出部件(2)和第二弹性连接件(24)，且与所述安装底板(5)螺纹连接。

7.根据权利要求5所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，所述安装底板(5)为L型安装底板，所述L型安装底板包括相互垂直的第一部分和第二部分，所述芯片安装座(1)与所述第一部分固定连接。

8.根据权利要求1所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，芯片放置台(21)的两侧均设置有磁铁片(25)，且两个所述磁铁片(25)分别与所述顶出部件(2)固定连接；
当芯片(7)移动至所述第一夹持部件(12)的一侧时，两个所述磁铁片(25)均与所述芯片安装座(1)的底部磁性相接。

9.根据权利要求1所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，所述第一夹持部件(12)具有两个，且两个所述第一夹持部件(12)之间具有避让槽(16)。

10.根据权利要求1所述的芯片UVO清洗及端面检验夹具，其特征在于，当芯片(7)移动至所述第一夹持部件(12)的一侧时，芯片(7)与所述压紧部件(4)之间具有间隙。

专利文本

CN219435848U