一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池叠层结构及其制备方法，衬底玻璃，淀积在衬底玻璃上的透明导电层，淀积在透明导电层上的n型缓冲层，淀积在n型缓冲层上的p型铜锌锡硫吸收层，淀积在p型铜锌锡硫吸收层上的硫化钼界面层，以及淀积在硫化钼界面层上的金属背电极层。